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硅片厚度测试传感器(SIT-200)

  • 产品名称:硅片厚度测试传感器(SIT-200)
  • 合作厂商:日本Alnairlabs
  • 产品型号:SIT-200
  • 产品简介:苏州波弗光电科技有限公司供应的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速扫频可调谐激光探测硅片厚度的硅片厚度测试仪。 基于高速波长扫描的激光器可以实现每波长更高功率的测量,从而实现高动态范围,甚至在未抛光的晶片上也可以进行厚度测量,例如在湿法蚀刻期间/之后。
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    硅片厚度测试传感器(SIT-200)

    产品简介:

    苏州波弗光电科技有限公司供应的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速扫频可调谐激光探测硅片厚度的硅片厚度测试仪。 基于高速波长扫描的激光器可以实现每波长更高功率的测量,从而实现高动态范围,甚至在未抛光的晶片上也可以进行厚度测量,例如在湿法蚀刻期间/之后。硅晶片厚度传感器由精确调谐的波长扫描激光源,聚焦传感器和光接收器(PD)构成。 波长扫描光聚焦在目标上,并且在通过传感器之后由PD检测由目标表面和背面的反射形成的干涉图案。更多产品信息,请联系苏州波弗光电科技有限公司,咨询电话:0512-62828421,咨询邮箱:sales@bonphot.com !

     

    主要特点:1)、用于硅晶圆的全光学,非接触式厚度传感器;2)、高动态范围,能够测量无序表面;3)、能够在湿法蚀刻期间进行原位测量

     

    典型应用:硅片厚度测量


    功能结构图:

     

    硅片厚度测试传感器(SIT-200)-主要技术指标:

     

    主要技术指标

    硅片厚度测试传感器(SIT-200)

    SIT-200

    测试功能

    -

    硅片厚度

    厚度测试范围

    um

    10~500(n=3.5)

    激光器

    nm

    波长扫描激光器,1515nm-1585nm

    光输出功率

    mW

    0.6(Class 1)

    引导光源(基准光源)

    -

    RED LD,Laser class 1M

    测试时间

    ms

    ≥20

    重复率

    um

    <0.1(3σ)

    监控输出

    -

    干扰信号(电信号)

    程控接口

    -

    Ethernet(网口)

    电源

    -

    AC100-240V(50/60Hz)

    尺寸(WxHxD)

    mm

    364x147x391

    重量

    Kg

    9.0

    其他说明

      更多产品信息,请联系苏州波弗光电科技有限公司相关销售人员确认!

     

    应用案例:

    型号说明:

    SIT-200  : 硅片厚度测试传感器/硅片厚度测试仪

     

    更多硅片厚度测试传感器(SIT-200)产品信息,请联系苏州波弗光电科技有限公司,咨询电话:0512-62828421,咨询邮箱:sales@bonphot.com !

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